Физические основы микро- и нанотехнологий
Сергей Бычков
Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смежных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехнологий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физических явлений, процессов и сред, являющихся основой этих технологий. Приведены методы преобразования фундаментальных физических законов в прикладные технологические зависимости, расчеты физических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий. Для студентов 3-го и 4-го курсов, обучающихся по специальности «Электронное машиностроение».
- Категория: учебники и пособия для вузов
- Правообладатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана
- Год написания: 2009
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-7038-3319-3
- Легальная стоимость: 236.00 руб.
Читать книгу «Физические основы микро- и нанотехнологий» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
