Нанотехнологии в микроэлектронике
Коллектив авторов
В книге представлены результаты междисциплинарных фундаментальных, поисковых и прикладных научных исследований по разработке технологий получения новых наноматериалов и элементной базы электронных устройств новых поколений информационно-телекоммуникационных систем. Рассмотрены возможности практического применения методов проектирования и изготовления сверхбыстродействующих интегральных элементов СБИС и УБИС, многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений, устройств нанопьезотроники, микроэлектронной сенсорики, нейроморфных систем и вакуумной микроэлектроники на основе использования перспективных методов нанотехнологии: молекулярно-лучевой эпитаксии, импульсного лазерного осаждения, плазмохимического осаждения из газовой фазы, сканирующей зондовой микроскопии и зондовой нанолитографии, фокусированных ионных пучков, электронно-лучевой обработки, а также перспективных методов планарной технологии поверхностной обработки. Для научных работников и инженеров, специализирующихся в области применения нанотехнологии в микроэлектронике, а также для студентов и аспирантов соответствующего профиля.
- Категория: техническая литература
- Правообладатель: Наука
- Год написания: 2019
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-02-040201-0
- Легальная стоимость: 528.00 руб.
Читать книгу «Нанотехнологии в микроэлектронике» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
