Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2
Ю. Б. Цветков
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии – изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физикохимические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».
- Категория: техническая литература
- Правообладатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
- Год написания: 2018
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-7038-4864-7
- Легальная стоимость: 144.00 руб.
Читать книгу «Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
