Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
Ю. Б. Цветков
Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки. Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».
- Категория: техническая литература
- Правообладатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана
- Год написания: 2023
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-7038-5369-6
- Легальная стоимость: 154.9 руб.
Читать книгу «Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
