Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1
М. А. Королев
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.
- Категория: техническая литература
- Правообладатель: Лаборатория знаний
- Год написания: 2020
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-00101-814-8, 978-5-00101-813-1
- Легальная стоимость: 242.00 руб.
Читать книгу «Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
