Silicon Technologies. Ion Implantation and Thermal Treatment
3.75 из 5, отдано 12 голосов
The main purpose of this book is to remind new engineers in silicon foundry, the fundamental physical and chemical rules in major Front end treatments: oxidation, epitaxy, ion implantation and impurities diffusion.
-
Категория: техническая литература
-
Правообладатель: John Wiley & Sons Limited
-
Возрастное ограничение: 0+
-
ISBN: 9781118601112
-
Легальная стоимость: 20349.71 руб.
Читать книгу «Silicon Technologies. Ion Implantation and Thermal Treatment» онлайн: