Silicon Technologies. Ion Implantation and Thermal Treatment
3.6 из 5, отдано 9 голосов
The main purpose of this book is to remind new engineers in silicon foundry, the fundamental physical and chemical rules in major Front end treatments: oxidation, epitaxy, ion implantation and impurities diffusion.
-
Категория: техническая литература
-
Правообладатель: John Wiley & Sons Limited
-
Возрастное ограничение: 0+
-
ISBN: 9781118601112
-
Легальная стоимость: 19134.30 руб.
Читать книгу «Silicon Technologies. Ion Implantation and Thermal Treatment» онлайн: