Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение
Дмитрий Духопельников
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.
- Категория: техническая литература
- Правообладатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана
- Год написания: 2014
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-7038-3798-6
- Легальная стоимость: 118.00 руб.
Читать книгу «Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
