Инженерно-физические основы микросистем
А. В. Гридчин
В работе описаны инженерно-физические основы подхода к описанию микросистем, разработанных и применяющихся в настоящее время. Даны определения основным терминам, применяемым в микросистемной технике, краткая история развития микросистем и перечень характерных метрологических параметров. Приведен математический аппарат, необходимый для описания физики микро- и наносистем. Рассмотрены метрологические и технологические основы подхода к их проектированию, изготовлению и тестированию. Рекомендовано студентам всех вузов, обучающимся по специальностям «Нанотехнологии и микросистемная техника», «Электроника и наноэлектроника» и «Приборостроение».
- Категория: программы
- Правообладатель: Новосибирский государственный технический университет
- Год написания: 2025
- Возрастное ограничение: 16+
- ISBN: 978-5-7782-5465-7
- Легальная стоимость: 700.00 руб.
Читать книгу «Инженерно-физические основы микросистем» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
